晶圓貼膜切割的主要作用是將晶圓上做好的晶粒切割分開成單個,以便后續(xù)的工作。在切割之前,要先將晶圓貼在晶圓框架的膠膜上,膠膜具有固定晶粒的作用,避免在切割時晶粒受力不均而造成切割品質不良,同時切割完成后可確保在運送過程中晶粒不會脫落或相互碰撞。晶圓切割主要是利用刀具,配合高速旋轉的主軸馬達,加上精密的視覺定位系統(tǒng),進行切割工作。
Frame尺寸 : 8英寸/12英寸
貼膜使用膜 : 非預切膜
工作效率 : 大于60片/小時
MTBA :大于2小時
控制系統(tǒng) : PC
人機交互界面 : 觸摸屏
系統(tǒng)通訊功能 :支持SECS/GEM,MES,SAP通訊功能。
靜電去除裝置 : 離子風扇
Frame定位: 浮動定位銷
產品定位 :真空吸及定位銷定位 室溫-80℃可調,特氟龍?zhí)幚矸漓o電真
貼膜平臺 :空平臺,高度可調,且可上下浮動。
貼膜原理 :工作臺移動,橡皮輪滾壓,自動貼膜
廢膜處理 :自動卷繞
Frame標簽 :全自動打標貼標,貼標位置自由設置。
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